WeissQuadrat Simulation Vakuumkammer 07

Strahlung - Vakuumkammer

Für die thermische Auslegung einer Vakuumkammer ist es wichtig die Heizleistung im Voraus zu wissen. Zum Einen muss die Leistung ausreichend sein, um das Substrat in einer entsprechenden Zeit auf die gewünschte Temperatur zu bringen. Zum Anderen dürfen die Heizelemente dabei nicht überhitzen.

 

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WeissQuadrat Simulation Vakuumkammer 08

Strahlung - Vakuumkammer

Diese Abbildung zeigt die maximale Temperatur der Heizelemente. Ein Vergleich mit der maximal erlaubten Temperatur seitens des Herstellers kann nach der Berechnung gezogen werden.

 

WeissQuadrat Simulation Vakuumkammer 09

Strahlung - Vakuumkammer

Mit einer transient thermischen Analyse werden zeitabhängige Temperaturfelder berechnet. Die Kernfrage - in welcher Zeit erreicht das Substrat die gewünschte Temperatur? - kann somit auch beantwortet werden.

 

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